申请增值税专用发票最高开票限额的具体流程如下：
⒈准备材料：
○ 《税务行政许可申请表》：可在省（自治区、直辖市和计划单列市）税务局网站 “下载中心” 栏目查询下载或到办税服务厅领取。
○ 《增值税专用发票最高开票限额申请单》：通常一式两份，按要求填写申请最高开票限额的具体金额、申请原因等信息。
○ 经办人身份证件：原件用于查验，查验后退回。若委托代理人提出申请，还需提供代理委托书以及代理人身份证件原件。
⒉选择申请途径：
办税服务厅（场所）办理：
○ 纳税人携带准备好的材料前往主管税务机关的办税服务厅。
○ 在办税服务厅，向工作人员提交申请材料。工作人员会核对资料是否齐全、是否符合法定形式、填写内容是 否完整。符合要求的，即时受理，制作《税务行政许可受理通知书》送达纳税人，并制作《税务文书送达回 证》由纳税人签收。
电子税务局办理：
○ 登录电子税务局，找到 “税务行政许可” 或相关模块。比如有的地区在 “我要办税” 中可找到该模块。
○ 选择 “增值税最高开票限额审批”，进入办理页面。
○ 按照系统提示填写《行政许可申请表》和《增值税专用发票最高限额申请单》等表单信息。注意标 * 的项目为必填项目。
○ 上传经办人身份证件等附报资料（如为代理人办理，需上传代理人身份证件和代理委托书）。上传附报资料时，可选择本地上传和资料库上传。
○ 填写完毕并确认无误后，提交申请。
⒊税务机关受理与审核：
受理：
○ 如果申请材料齐全、符合法定形式，税务机关将受理申请；申请材料存在问题可以当场更正的，应当一次性告知纳税人更正；申请材料不齐全或不符合法定形式的，应当当场或者 5 日内制作《补正税务行政许可材料告知书》，一次性告知纳税人需要补正的材料。
○ 对省税务机关确定的能够当即办理的税务行政许可事项，直接出具和送达《准予税务行政许可决定书》，不再出具《税务行政许可受理通知书》。
○ 审核：税务机关会对纳税人提交的申请材料进行审查，必要时可能会进行实地查验（一般申请最高开票限额十万元以上的可能会涉及实地查验，但各地规定可能有所不同）。
⒋获取审批结果：
○ 纸质办理：纳税人凭《税务行政许可受理通知书》领取《准予税务行政许可决定书》或《不予税务行政许可决定书》，并制作《税务文书送达回证》由纳税人签收。审查结果为 “不予税务行政许可” 的，会说明理由并告知纳税人在《不予税务行政许可决定书》上注明的期限内，享有依法申请行政复议或提起行政诉讼的权利。
○ 电子税务局办理：办理结果会通过电子税务局反馈给纳税人。
⒌后续事项：